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SUSS MicroTec 公司的 SB6/8e 提供一种适合各种键合工艺的半自动平台。SB6/8e 可以处理200毫米以下各种形状和类型的衬底和晶圆。因此,它是一个适合多种用途和工艺环境的灵活工具。应用领域包括,MEMS、LED 中的封装及结构塑造、先进封装、2.5D和3D集成。
SB6/8e 从研究开发、到批量生产,再到最后的大规模生产都简单明了。
灵活
工艺稳定
产量高
在键合室温度、键合力和空气压力的配置上有广阔的自由度,这大大增加了应用的选择范围。此外,还能调整工艺以适应不断变化的工艺条件。
与 SUSS 键合对准器套装组合后,SB6/8e 还能进行高精度预键合对准
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