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扫描式光刻机

简要描述:1、Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.13µm
用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2、产品详情
主要技术指标
分辨率0.13µm
N.A.0.5-0.8
曝光光源248nm
倍率4:1
最大曝光现场26mm*33mm
对准精度25nm

  • 产品型号:Canon FPA5000 ES4
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-05-22
  • 访  问  量: 134

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详细介绍

1、Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机

光源波长248nm

分辨率优于0.13µm

用于6寸、8寸及12寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2、产品详情

主要技术指标

分辨率0.13µm

N.A.0.5-0.8

曝光光源248nm

倍率4:1

最大曝光现场26mm*33mm

对准精度25nm

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。


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