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喷涂胶机

简要描述:在喷涂法中,喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。 喷涂所用的液体通常粘度极低,以确保形成细小的液滴

  • 产品型号:AS8
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-06
  • 访  问  量: 600

详细介绍

1.产品介绍:  

AS8适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机,AS8涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要,对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工,都是理想的工具。SUSS AS8涂胶机也可用于生产环境。

2.产品优势:

跨越大起伏形貌的图案化赋能技术

顶部边缘覆盖的保形涂胶,且能避免沟槽中堆胶。

喷雾设计,可实现工艺稳定性与重复性的优化

基板尺寸最大直径为200 mm,方形基板最大边长为 6"

最多可有2个独立的喷雾喷胶系统,以避免交叉污染

带有MMC控制器软件的触摸屏

全部工艺参数可在工艺菜单中编程

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