工业显微镜简介： 1. 支持通过光学显微镜或图像测量仪（如Nikon NEXIV），对直径为6英寸（150mm）和8英寸（200mm）的半导体晶圆的创新设计和材料进行检测。 2. 半导体晶圆装载机系列，能够将直径为6英寸（150mm）和8英寸（200mm）的晶圆转移到厚度为100微米（工厂制造选项）的尼康Eclipse L200N和LV150N显微镜或NEXIV VMZ-S视频测量仪器上。

超景深显微镜概述：本套系统主要用于材料表面形貌的观察；平面或三维测量。可采用3D观测模式，对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可以做高度，宽度，横截面，角度，R值，表面积，体积，线粗糙度，面粗糙度等的测量分析。同时可以做材料断口、金相的观测,陶瓷，微流道，微加工，现代加工制造,MEMS研究，微纳制造等。

高速高分辨显微共焦拉曼光谱仪 系统功能： 快速获得详细的图像和分析，非常适合于微观和宏观测量，提供*进的二维和三维共聚焦成像能力。LabRAM Odyssey™具有高性能和直观的简易性，广泛用于标准拉曼分析、光致发光(PL)、 针尖增强拉曼光谱 (TERS) 和其他联用分析方法。通过简单的AFM 升级，从微米尺度转向纳米光学世界。

智能型多功能椭偏仪​ （Smart SE） 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。

霍尔效应测试仪 简介： 1.系统功能：用于测量半导体材料的电阻率/电导率、流动性、散装/片状载体浓度、掺杂类型、霍尔系数、磁阻、垂直/水平阻力比的半导体高性能霍尔系统。模块化设计理念，允许轻松升级，该系统适用于各种材料，包括硅和化合物半导体和金属氧化物膜等。 2.该系统具有低电阻率和高电阻率测量功能，具有双重温度功能和一个可选的低温恒温器，可扩展该系统温度范围从90K到500K。

探针台 简介： 一、应用:主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节。 二、类型：分析直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片级测量、定制化等 三、概况：1. 样品尺寸：碎片~12英寸 2. 自动化：手动、半自动、全自动