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智能型多功能椭偏仪

简要描述:智能型多功能椭偏仪​ (Smart SE) 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-03-28
  • 访  问  量: 480

详细介绍

一、智能型多功能椭偏仪 产品概述:

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。

二、智能型多功能椭偏仪 产品参数:

1. 光谱范围:450nm to 1000nm

2. 光谱分辨率:优于3nm

3. 光源:卤素灯和蓝光LED

4. 测试时间:小于1秒到10秒

5. 光斑尺寸:

(1) 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

(2) 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

(3) 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

(4) 500µm*500µm

6. 入射角:450 to 900 ,步径50

7. 样品尺寸:200mm以内

8. 样品准直:手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角

9. 空气对射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

10. 厚度准确性:0.04%

11. 厚度重复性:±0.02%

三、可选附件:

1. 全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010

2. 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测

3. 冷热台,液体样品池和电化学反应池

4.十字星自准直系统



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