详细介绍
1.产品概述:
NEXUS IBD是由VEECO研发的第三代NEXUS® 离子束沉积 (IBD),适用于硬偏置、引线、绝缘层和传感器堆栈沉积。
2.产品原理:
离子束辅助沉积的原理是在离子束的作用下,将气态或液态物质引导到材料表面,通过物理或化学反应,形成固态薄膜。 离子束辅助沉积具有沉积温度低、薄膜质量高、可控制性好等优点,因此在光电、电子、能源等领域得到广泛应用。
3.产品优势:
数据存储制造商可以借助 Veeco 的第三代 NEXUS® 离子束沉积 (IBD) 系统大幅提高 80Gb/in2 传感器的产量,并满足未来 TFMH 设备制造的需求。
支持各种设备,从当的 CIP 到高 CPP 设备
MRAM 应用以及 GMR 和 TMR 薄膜磁头的理想选择
改进了所有准直沉积应用的 CD 控制
通过沉积羽流的对称到达获得更锐利的起飞角度
平台易于与 PVD、IBE 和其他技术集成
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