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简要描述:ACS200 Gen3 涂胶和显影机是创新组件和经过生产验证的组件结合的成功结果。它具有多达 4 个湿法工艺模块和最多 19 块板的能力,非常适合大批量生产 (HVM) 的需求。模块和技术的配置灵活性不仅满足了先进封装、MEMS和LED市场的需求,而且还弥合了研发和HVM之间的差距。
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半导体前道工艺设备
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