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枚叶式PECVD设备

简要描述:枚叶式PECVD设备CME-200E/400

枚叶式PE-CVD设备CME-200E/400是适用于Si系绝缘膜、barrier膜等成膜的量产用PECVD设备。

  • 产品型号:CME-200E/400
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-28
  • 访  问  量: 96

详细介绍

枚叶式PECVD设备CME-200E/400

枚叶式PE-CVD设备CME-200E/400是适用于Si系绝缘膜、barrier膜等成膜的量产用PECVD设备。
  • 产品特性 / Product characteristics

  • 27.12MHz高密度等离子制程
    SiH4系:SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系:可对应SiO2膜
    以NF3+Ar Plasma实现腔体清洁功能
    可对应有机EL(OLED)的低温成膜用heater
    使用Tray大可搬送□200mm(CME-200E)的基板尺寸(CME-400:可对应300×400)
  • 产品应用 / Product application

  • 功率器件
    LED、LD、高速device等化合物相关
    有机EL(OLED)开发
    太阳电池开发
    MEMS
  • 产品参数 / Product parameters

关于公司
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额



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