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等离子体增强CVD系统

简要描述:PD-270STLC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统,可用于大规模生产。Samco的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源,以低应力沉积SiO2薄膜,从薄膜到厚的薄膜(高达100 µm)。该系统通过采用大气盒装载和ø236毫米的托架实现了高产量,可安装三个ø4英寸的晶圆。

  • 产品型号:PD-270STLC
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-27
  • 访  问  量: 60

详细介绍

1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年(公司成立年)
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额


液体原料CVD设备 PD-270STLC

低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积


概要

PD-270STLC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统,可用于大规模生产。Samco的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源,以低应力沉积SiO2薄膜,从薄膜到厚的薄膜(高达100 µm)。该系统通过采用大气盒装载和ø236毫米的托架实现了高产量,可安装三个ø4英寸的晶圆。

主要特点和优点

  • 大加工尺寸为ø236mm的托架(ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)。

  • 阴耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速(>300nm/min)沉积。

  • 通过低温沉积,可以在塑料表面上沉积薄膜。

  • 高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率

  • 使用锗、磷、硼液源控制折射率。

  • 优异的工艺均匀性和可重复性

应用

  • 塑料材料上保护膜的沉积

  • 在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。

  • 光波导的制造(光纤芯/包层)。

  • 制造用于微型机械生产的面罩。

  • 覆盖高纵横比结构,如MEMS器件。

  • SAW设备的温度补偿膜和钝化膜。





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