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1、扇出型晶圆级热拆键合
• FOWLP优化热拆键合
• 全自动脱胶
• FOWLP晶圆翘曲控制和测量
• FOWLP晶圆正反面标记
• 可独立的全自动翘曲矫正模式
• 符合SEMI E95的MMI
• 符合SEMI E005和E030的SECS/GEM
2、机器描述
半自动热拆键合机 MDM330s:
晶圆尺寸 300/330 mm
晶圆厚度 400µm - 1000µm
温度控制 室温 - 240℃
温度均匀性 ±2℃
流程模式 :
• 拆键合和脱胶工艺
• 翘曲矫正工艺
• 手动装载
翘曲处理能力:
输入:≤ ±15mm
输出:<1 mm*
晶圆传输系统 :三温无接触传输
子系统: 全自动脱胶
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