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步进式光刻机

简要描述:1、Canon FPA3000 EX4步进式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.25µm
主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2、产品详情
主要技术指标
分辨率0.25µm
N.A.0.4~0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
最大曝光现场22mm*22 mm
对准精度60nm

  • 产品型号:Canon FPA3000 EX4
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-04
  • 访  问  量: 385

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详细介绍

一、产品概述:

Canon FPA3000 EX4 是一款高性能的步进式光刻机,专为半导体制造业设计,适用于生产高精度的集成电路。该设备以其良好的成像能力和高生产效率而闻名。

二、设备用途/原理:

Canon FPA3000 EX4 步进式光刻机主要用于半导体制造、微机电系统和光电器件的生产。其工作原理包括使用高强度光源照射涂有光刻胶的硅晶圆,通过光学系统将掩模上的图案投影到晶圆表面,形成图案后进行显影,去除未曝光或已曝光的光刻胶。随后,图案被转移到晶圆材料上,通过刻蚀工艺完成最终图形的制作,最后去除残留光刻胶。该设备以其高分辨率和高效的曝光能力,确保了在先进制造领域的应用。

三、特色参数:

分辨率

0.25µm

N.A.

0.4~0.6

曝光光源

248nm

倍率

5:1

大曝光现场

22mm*22 mm

对准精度

60nm

四、设备特点

1.高分辨率成像

支持高达 300mm 的晶圆尺寸,能够实现精确的图案转移,满足先进半导体制程的需求。

2.快速扫描速度

采用高效的扫描技术,显著缩短生产周期,提高生产效率,适合大批量制造。

3.先进的光学系统

配备高性能光学元件,确保在复杂图形上的成像质量和清晰度。

4.用户友好的操作界面

设计简洁、直观,结合自动化功能,降低操作难度,提升用户体验。

5.高可靠性与稳定性

设备经过精心设计,适合长时间连续运行,降低维护需求和成本。

6.灵活的应用能力

能够适应多种制造需求,包括集成电路、MEMS 和光电器件等。

7.环境适应性强

设计考虑到不同的生产环境,确保在各种条件下均能稳定运行。




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