详细介绍
1、Nikon S206D扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.12µm
主要用于8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2、产品详情
主要技术指标
分辨率0.12µm
N.A.0.82
曝光光源248nm
倍率4:1
最大曝光现场25mm*33mm
对准精度
20nm
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。
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