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CIF扫描电镜等离子清洗机

简要描述:CIF扫描电镜等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-06-20
  • 访  问  量: 367

详细介绍

一、 产品简介

CIF扫描电镜等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

二、CIF扫描电镜等离子清洗机 产品特点

1. 远程等离子清洗源

2. 清洗快速、高效

3. 低轰击损伤                                              

三、技术参数                                    

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40(CF40)

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调,


远程等离子源,自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源/功率

220V,50/60Hz,300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min



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