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扫描电镜等离子清洗机

简要描述:CIF扫描电镜等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

  • 产品型号:CIF-SEM
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-05
  • 访  问  量: 648

详细介绍

一、产品概述:

扫描电镜等离子清洗机是一款专为扫描电子显微镜(SEM)样品准备而设计的高效清洗设备。该机利用等离子体技术,通过活性气体的激发,去除样品表面的有机污染物和微尘,确保样品在显微观察中的清洁和高质量成像。扫描电镜等离子清洗机具有快速、均匀的清洗效果,并能够处理各种材料,包括金属、陶瓷和聚合物等。其自动化控制系统使得操作简单便捷,广泛应用于材料科学、纳米技术和生物医学等领域,为研究人员提供可靠的样品处理解决方案。

CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

二、设备用途/原理

·设备用途

扫描电镜等离子清洗机主要用于准备扫描电子显微镜(SEM)样品,去除样品表面的有机污染物、微尘和其他杂质。它广泛应用于材料科学、纳米技术和生物医学等研究领域,以确保样品在显微观察中的清洁和高质量成像。

·工作原理

该设备通过等离子体技术进行清洗。首先,等离子清洗机将特定的气体(如氧气或氩气)引入反应室,并通过高频电源激发气体形成等离子体。等离子体中的活性粒子与样品表面的污染物反应,分解并去除这些杂质。该过程能够快速且均匀地清洗各种材料,确保样品表面达到所需的清洁度,从而提高扫描电子显微镜的成像质量和分析准确性。

三、主要技术指标:

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40(CF40)

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调,


远程等离子源,自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源/功率

220V,50/60Hz,300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min

质量保证

二年质保,终身维护

四、产品特点

1.远程等离子清                                  

2.清洗快速、高效                        

3.低轰击损伤 


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