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CIF透射电镜样品杆清洗机

简要描述:CIF透射电镜样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计,清洗快速高效,低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-03-28
  • 访  问  量: 574

详细介绍

一、产品简介

CIF透射电镜样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计,清洗快速高效,低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。

二、CIF透射电镜样品杆清洗机 产品特点

1. 远程离子清洗源

2. 一机多用

3. 清洗快速高效,低轰击损伤

三、技术参数

产品型号

CIF-TEM

等离子电源

13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-120W可调

远程等离子源,自动匹配器

清洗室

清洗室尺寸Ø180xH100mm

清洗数量

可同时清洗3支TEM样品杆

适配品牌

THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷欧路JEOL

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

质量流量计(MFC),皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

真空泵

前级泵

抽气速率2 L/s

分子泵

极限真空:CF:5x10-6Pa,ISO-K: 3x10-5Pa

分子泵抽速 >80L/s (N2)

入口法兰:DN100CF/DN100 ISO-K  

质量保证

二年质保,终身维护

   

220V,50/60Hz,300W



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