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中央供药系统

简要描述:中央供药系统简介:
1.用于厂内供药,通过该系统可以按照设定的配比,将特定的药液通过相应的管路供应到制程中。
2.该系统供药配比精确,配方可根据客户需要进行编辑确认,容量大小根据客户需求进行定制。

  • 产品型号:customized
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-06
  • 访  问  量: 717

详细介绍

1. 产品概述:

智程中央供药系统是用于厂内供药的设备,能够按照设定的配比,将特定的药液通过相应的管路供应到制程中。它可以精确地控制药液的输送和配比,确保生产过程中使用的药液符合工艺要求。

2. 设备应用

· 半导体制造:在半导体晶圆制造过程中,为各种清洗、蚀刻、沉积等工艺提供精确配比的化学药液,如酸性(H₂SO₄、HCl、HNO₃、H₃PO₄、HF、BOE 等)、碱性(NH₄OH、NaOH、KOH 等)、有机(IPA、ACE、去胶、去蜡等)以及抛光液(金刚石抛光液、化学抛光液等。

· LED 光电行业:为 LED 芯片的制作过程提供所需的化学药液供应,助力提升 LED 产品的质量和性能。

· 电子行业:在电路板制造等电子制造环节中,提供精确的化学药液供应,保障生产工艺的顺利进行。

3. 设备特点

· 供药配比精确:能够严格按照设定的比例进行药液调配,确保药液浓度的准确性,从而保证生产工艺的稳定性和产品质量。

· 配方可编辑:配方可以根据客户的具体需求进行编辑和确认,具有较高的灵活性,能满足不同生产工艺对药液配方的多样化要求。

· 容量定制化:容量大小可根据客户的实际需求进行定制,适应不同规模的生产场景,避免资源浪费或供应不足的情况。

· 自动化程度高:实现了自动供药过程,减少了人工操作带来的误差和不确定性,提高了生产效率和供药的及时性。

· 系统稳定性强:经过精心设计和优化,具备良好的稳定性和可靠性,能够在长时间的生产过程中稳定运行,降低设备故障对生产的影响。

4. 产品参数

· 供药种类:涵盖各种适用药液,如不同类型的酸、碱、有机溶液和抛光液等。

· 配比精度:例如可精确到小数点后几位的配比精度。

· 最大供药流量:反映系统在单位时间内能够供应的药液最大量。

· 储液罐容量:根据定制需求,储液罐的容量有不同规格。

· 控制方式:如采用先进的自动化控制系统,具备精确的参数设置和监控功能。

· 管路材质:使用适合输送化学药液的特殊材质管路,确保药液的稳定性和安全性,同时具备良好的耐腐蚀性。

· 实际参数可能会因设备的具体配置和定制需求而有所不同。

                                                           







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