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一、深能级瞬态谱仪(DLTS) 技术参数：
1. 脉冲发生器电压范围 ±100v,解析度0.3mV
2. 脉冲宽度 1us-1000s
3. 电容测量的高频信号 1M Hz
4. 电容补偿范围 1pF- 3300pF
5. HF–频率: 1M Hz
6. HF-信号: 100mV
7. 电容测试范围 2pF,20pF,200pF,2000pF,自动或手动
8. 电容测试灵敏度 0.01fF
9. 电流放大器最大测试电流: 15mA
10. 电流放大器电流分辨率 10pA
二、深能级瞬态谱仪(DLTS) 技术优势：
1. 数字瞬态记录器最大采样 64000点
2. 数字瞬态记录器采样间隔 2us-4s
3. 耦合方式 提供28种耦合方式,包括Boxcar和Lock-in方式.一次变温即可得到28组曲线和数据点
4.单个温度点测试参数序列 单温度点设置18种测试参数序列,无需重复变温即可得到不同测试参数
三、企业简介：
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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