SENTECH SE 500adv结合了椭圆偏振法和反射法，消除了测量透明薄膜层厚的模糊性。它将可测量的厚度扩展到 25 μm。因此，SE 500adv 扩展了标准激光椭偏仪 SE 400adv 的功能，特别适用于分析较厚的电介质、有机材料、光刻胶、硅和多晶硅薄膜。

FTPadv Expert薄膜测量软件具有FTPadv标准软件中包含的用户友好和以配方为导向的操作概念。突出显示拟合参数、测量和计算的反射光谱以及主要结果的光学模型同时显示在操作屏幕上。

FTPadv是一种经济高效的台式光谱反射解决方案，具有快速厚度测量功能。测量时间不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范围为 50 nm – 25 μm。包括一系列预定义的配方，便于光谱反射仪操作

RM 1000 和 RM 2000 光谱反射仪可测量表面光滑或粗糙的平面或弯曲样品的反射率。使用SENTECH FTPadv Expert软件计算单膜或层叠的厚度、消光系数和折射率。厚度分别为 2 nm 和 50 μm （RM 2000） 或 100 μm （RM 1000） 的单片、层叠和基板可以在 UV-VIS-NIR 光谱范围内进行分析。

烛龙™系列中的多模态光电显微镜是一台具有超高稳定性的多功能光电综合测试和微加工系统，可根据客户需求提供多种灵活可选的配置和方案。系统集成了电动运动台和振镜的扫描方式，可实现瞬态和稳态下的光电流测试和扫描成像，荧光寿命测试和扫描成像，拉曼光谱测试，二次谐波测试，荧光光谱采集，发射和吸收等光谱端的测试和扫描成像。除此之外，整套系统可搭配飞秒脉冲激光器和我司自主研发的低温系统进行相关的变温测试以及器件表

CAPELLA系列探针台支持从晶圆到封装芯片级的所有LED产品类型（垂直芯片、横向芯片、倒装芯片）的电气和光学表征。无论您是需要高性能、高性价比还是专业探针系统，MPI PA 都能提供 LED 晶圆/芯片探针机系列，以满足您的严格要求。