SENTECH SENDURO®MEMS 提供配置灵活性，以满足生产控制和质量控制的要求。该工具可以配置反射法和椭圆偏振法中的μ点测量，以及提供准确测量位置的模式识别。所有测量都可以与边缘抓取技术相结合。

SpectraRay/4 是 SENTECH 专有的光谱椭圆偏振仪软件，包括椭圆、反射和透射数据的数据采集、建模、拟合和扩展报告。它支持可变角度、多实验和组合光度测量。 包括一个基于 SENTECH 厚度测量和文献数据的庞大而全面的材料数据库。大量的色散模型允许对几乎任何类型的材料进行建模。

SENTECH SENDIRA 专为红外 （FTIR） 而设计。这款紧凑的台式仪器包括吹扫椭偏仪光学元件、计算机控制的测角仪、水平样品平台、自动准直望远镜、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 检测器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 （1.7 μm – 25 μm） 的光谱范围内提供出色的精度和高分辨率。

定制基于灵活模块的 150 mm 探针台 FormFactor为150 mm探针台引入了新的模块化概念。这将使您更容易以令人难以置信的价格配置个性化探头解决方案，以满足当前和未来的需求。只需选择一个基站，并根据需要添加任意数量的特定应用入门套件。

SENTECH SENpro 椭圆偏振光谱仪具有操作简单、测量速度快、不同入射角椭偏振测量的组合数据分析等特点。它的测量光谱范围为 370 nm 至 1,050 nm。该工具的光谱范围与先进的软件 SpectraRay/4 相结合，可以轻松确定单片薄膜和复杂层叠的厚度和折射率。

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 椭圆偏振法分别测量高达 2,500 nm 或 3,500 nm 的近红外光谱。它提供最宽的光谱范围、*的信噪比和最高的可选光谱分辨率。可以测量厚度达 200 μm 的硅膜。FTIR椭圆偏振仪的测量速度与二极管阵列配置相比，二极管阵列配置也可选择高达1,700 nm。