欢迎来到深圳市矢量科学仪器有限公司网站!
咨询热线

当前位置:首页  >  产品中心  >  其他前道工艺设备  >  6 清洗设备  >  ASx 系列清洗设备

清洗设备

简要描述:SUSS MicroTecs ASx 系列为加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求,用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。

  • 产品型号:ASx 系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-06
  • 访  问  量: 173

详细介绍

1.产品概述:

SUSS MicroTecs ASx 系列为加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求,用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。

2.产品工艺:

晶圆尺寸:4、6、8英寸

小片的用工具

符合 SEMI S2、S8、S13

CE认证

符合欧洲标准和机械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低电压指令 2006/95/EC

DIN ISO 14.644 2

SECS/GEM 200/300 mm 工厂自动化标准接口

3.产品优势:

采用A+喷嘴在整个掩模上连续涂布介质,使显影的冲击力小化。

显影剂主动脱气,可防止微气泡的产生,实现低的缺陷计数。

PEB升为含APB的集群设备

高效的化学过滤(胺/酸)和精确的温、湿度控制

SMIF装/卸载的全自动化

增强的工艺控制与监测功能

与曝光后烘烤系统APB9500结合,获得佳效果


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7