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有机EL成膜设备SOLCIET

简要描述:有机EL成膜设备SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列。ULVAC面向有机EL材料开发提供实验用设备系统到量产Cluster系统设备和Inline系统设备。

  • 产品型号:SATELLA, ZELDA系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-06
  • 访  问  量: 127

详细介绍

1 产品概述:

   有机EL成膜设备SOLCIET是一款专为有机电致发光(Organic Electroluminescence, OLED)技术设计的先进制造设备。该设备由多个独立的腔室构成,包括前室、有机镀膜室、电极镀膜室、中间室和glove box等,形成了一个从材料评价到产品特性评价的完整实验系统。SOLCIET设备提供了丰富的选项,如溅射阴极和各种蒸发源,以扩大实验用途的范围,并满足不同研究和生产的需求。其基板尺寸标准通常为100mm,确保了与多种基板的兼容性。

2 设备用途:

   有机EL成膜设备SOLCIET主要用于有机电致发光(OLED)显示屏和照明产品的制造过程中。具体来说,它可以在高真空环境下,通过物理或化学方法将有机材料均匀地沉积在基板表面,形成有机发光层和其他功能层。这些层是OLED器件的核心部分,对器件的性能和寿命有着至关重要的影响。因此,SOLCIET设备在OLED技术的研发、生产和质量控制中发挥着关键作用。

3 设备特点

  多腔室设计:SOLCIET设备采用多腔室设计,每个腔室都独立控制,可以有效避免不同工艺步骤之间的交叉污染,提高产品质量。

  高精度控制:设备配备了高精度的控制系统,可以精确控制镀膜速度、厚度和均匀性等关键参数,确保有机发光层的质量和性能。

  丰富的选项:提供了多种溅射阴极和蒸发源选项,用户可以根据具体需求选择合适的配置,以满足不同材料和工艺的要求。

  高兼容性:基板尺寸标准统一,与多种基板兼容,方便用户在不同项目和研究中灵活切换。
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技术参数和特点:

SOLCIET有室、有机镀膜室、电镀膜室、中间室和glove box独立的腔室构成、可以进行从材料评价到产品特性评价的实验系统。我们还提供丰富的选项,如溅射阴和各种蒸发源,以扩大实验用途的范围。对应的基板尺寸标准是100mmSATELLA采用独立的工艺室制造多腔室样式,可以进行SOLCIET难以进行的全色产品评估。它有一个8角形传输室,可根据实际需求容纳24个有机沉积室。此外,它配备了高精度的掩模对准机制,并支持有源矩阵全彩设备(active matrix full-color device)。对应的电路板尺寸的标准是200 mmZELDA系列是批量生产兼容系统。我们有丰富的应用,包括新开发的蒸发源。可以对应的电路板尺寸是G2或更大。   




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