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8英寸立式炉

简要描述:FLOURIS 201系列 8英寸立式炉
高精度温度场控制技术,可实现 1200℃ 内氧化退火工艺

  • 产品型号:FLOURIS 201系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 87

详细介绍

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年(公司成立年)

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额


FLOURIS 201系列 8英寸立式炉

1、高精度温度场控制技术,可实现 1200℃ 内氧化退火工艺

Higher precision temperature field control technology, capable of 1200℃ oxidation Anneal process

2、先进的颗粒控制技术

Advanced particle control technology

3、优良的膜厚均匀性控制技术

Excellent film thickness uniformity control technology

4、图形化操作界面和群组管理系统

Graphic user interface and Group controller


技术参数

1、晶圆尺寸  8 英寸

2、适用材料 硅、碳化硅

3、适用工艺 高温氧化、退火、常压合金、Polyimide 固化

4、适用领域 科研、化合物半导体、集成电路



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