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全新CIF 实验室型等离子清洗机

简要描述:全新CIF 实验室型等离子清洗机并非传统等离子体清洗设备设计理念,可中试生产、模拟生产条件,几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。采用顶置真空仓,上开盖下压式铰链开关方式,上置式360度自由取放样品托盘设计,具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-06-21
  • 访  问  量: 445

详细介绍

一、全新CIF 实验室型等离子清洗机 产品介绍

CIF推出全新一代实验室型等离子体清洗设备,并非传统等离子体清洗设备设计理念,可中试生产、模拟生产条件,几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。采用顶置真空仓,上开盖下压式铰链开关方式,上置式360度自由取放样品托盘设计,具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

二、全新CIF 实验室型等离子清洗机 产品特点

1.7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。

2. PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

3. 石英真空仓,真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

4. 采用质量流量计实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

5. HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

6. 60度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

7. 顶置真空仓,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。

8. 采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

9. 上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。

10. 有效清洗面积大,可清洗最大直径8寸硅片。

11. 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品,进行清洗和改性。

12. 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。

三、技术参数

型号

CPC-G

CPC-G plus

CPC-12

CPC-12plus

舱体尺寸

H120xΦ270mm  

H120xΦ270mm

H120xΦ370mm

H120xΦ370mm

舱体容积

6.8L

6.8L

12.8L

12.8L

射频电源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

自动匹配

自动匹配

激发方式

电容式

电容式

电容式

电容式

射频功率

10-300W可调

10-150W可调

10-600W可调

10-300W可调

最大处理尺寸

Φ270mm 圆盘

Φ370mm圆盘

产品尺寸

L525xW425xH345mm

L618xW520xH465mm

包装尺寸

L645xW540xH560mm

L750xW640xH570mm

气体控制

质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)

时间设定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

电 源

AC220V 50-60Hz





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