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刻蚀机终点检测系统

简要描述:刻蚀机终点检测系统 检测原理:通过特定波长谱线的强度变化来反映是否达到刻蚀终点。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-11-15
  • 访  问  量: 848

详细介绍

刻蚀机终点检测系统 产品介绍:


刻蚀机终点检测系统 问题解决方案-软件ideaEPD

主要特点:                                                      

1.实时显示全谱与至少6个峰的时序谱。                                                          

2.在时序谱上实时显示各种事件的纵线标记,包含启辉 信号、预延迟、终点信号等。                        

3.配置文件管理界面提供强大与灵活的终点判断算法, 增加了用户的可操作性,准确找到刻蚀终点。              

4.包含本地与远程模式,下位机在远程模式下由上位机 控制,并可在检测到终点后实时向上位机发送信号。

5.历史数据可以批量查看,并且可以用新的配置文件再 处理,以便用户寻找更合适终点算法。              

6.可以查看历史数据中不同波长对应的时序图,以便找到适合终点判断的谱线,方便用户探索新工艺。

                                 


 

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