详细介绍
1. 产品介绍
磁控溅射镀膜机Sputter
2. 应用领域
巨磁电阻(GMR)、组合材料科学(CMS)、半导体、超导体、纳米级器件、光子学、光伏(PV)、OLED(发光二极管)、有机薄膜。
3. 技术参数
最大样品尺寸:8英寸
溅射源:强磁靶、永磁靶,数量根据用户定制
电源:直流电源、射频电压
真空系统:超高真空
样品台加热:最高至1100℃
控制系统:全自动控制
进样室:根据用户需求定制
4. 企业简介
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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