详细介绍
光学轮廓仪是一种高精度的测量仪器,利用光学技术对材料表面的轮廓和形貌进行非接触式测量。它通过分析反射光和干涉图样,能够获取样品表面的微观特征,广泛应用于材料科学、电子制造和精密工程等领域。
光学轮廓仪主要用于测量材料表面的粗糙度、形貌和高度变化。常见应用包括半导体器件的表面特性分析、光学元件的质量检测、涂层厚度测量以及微结构的表征。这些数据对于材料的性能评估、质量控制和研发过程至关重要。
光学轮廓仪的工作原理基于光的干涉和反射现象。仪器发射光束照射到样品表面,反射回来的光与参考光束进行干涉。通过分析干涉图样的变化,仪器能够精确测量样品表面的高度和形貌特征。由于采用非接触式测量,光学轮廓仪能够避免对样品的损伤,适合用于脆弱或敏感材料的表征。最终生成的轮廓图可以提供详细的表面特征信息,帮助研究人员进行深入分析。
1. 测量模式:PSl, USl, VSl, 选配的 Film
2. 大扫描量程:≤10 mm
3. 横向分辨率:
4. 0.38 um minimum (Sparrow criterion)
5. 0.13 um (with AcuityXR)
6. 垂直分辨率:<0.01 nm
7. 台阶高度重复性:<0.75% <0.125% 1 sigma repeatability
8. 大扫描速度:122 um/sec (with laser reference)
9. 样品反射率范围:0.05% to 100%
10 .样品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ;249 mm H 自动样品台
11. 大样品重量:45 kg (77 kg without standard stage)
12. XY 品台:300 mm 自动样品台
13. Z 轴聚焦:249(350 mm 不带自动台)
14. 光源:利双LED光源
15. 物镜:
16. Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X
17. LWD: 1X, 2X, 5X,10X
18. TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X
19. Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret
20. 放大器:0.55X,0.75X,1X,1.5X, 2X auto-sensing modules
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