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光学轮廓仪

简要描述:光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

  • 产品型号:customized
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-06
  • 访  问  量: 806

详细介绍

一、产品概述:

光学轮廓仪是一种高精度的测量仪器,利用光学技术对材料表面的轮廓和形貌进行非接触式测量。它通过分析反射光和干涉图样,能够获取样品表面的微观特征,广泛应用于材料科学、电子制造和精密工程等领域

二、设备用途/原理

·设备用途

光学轮廓仪主要用于测量材料表面的粗糙度、形貌和高度变化。常见应用包括半导体器件的表面特性分析、光学元件的质量检测、涂层厚度测量以及微结构的表征。这些数据对于材料的性能评估、质量控制和研发过程至关重要。

·工作原理

光学轮廓仪的工作原理基于光的干涉和反射现象。仪器发射光束照射到样品表面,反射回来的光与参考光束进行干涉。通过分析干涉图样的变化,仪器能够精确测量样品表面的高度和形貌特征。由于采用非接触式测量,光学轮廓仪能够避免对样品的损伤,适合用于脆弱或敏感材料的表征。最终生成的轮廓图可以提供详细的表面特征信息,帮助研究人员进行深入分析。

三、主要技术指标:

1. 测量模式:PSl, USl, VSl, 选配的 Film

2. 大扫描量程:≤10 mm

3. 横向分辨率:

4. 0.38 um minimum (Sparrow criterion)

5. 0.13 um (with AcuityXR)

6. 垂直分辨率:<0.01 nm

7. 台阶高度重复性:<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

8. 大扫描速度:122 um/sec (with laser reference)

9. 样品反射率范围:0.05% to 100%

10 .样品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ;249 mm H 自动样品台

11. 大样品重量:45 kg (77 kg without standard stage)

12. XY 品台:300 mm 自动样品台

13. Z 轴聚焦:249(350 mm 不带自动台)

14. 光源:利双LED光源

15. 物镜:

16. Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

17. LWD: 1X, 2X, 5X,10X

18. TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

19. Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

20. 放大器:0.55X,0.75X,1X,1.5X, 2X auto-sensing modules         


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