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8英寸通用物理气相沉积系统

简要描述:Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统
多种材料膜层工艺能力,低损伤,高深宽比填充能力

  • 产品型号:Polaris系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-06-26
  • 访  问  量: 100

详细介绍

Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统

1、多种材料膜层工艺能力,低损伤,高深宽比填充能力

Multi material film processing ability, low damage, high aspect ratio filling capability

2、独立工艺腔室,最多可支持 6 个工艺模块

Separate chamber and configure up to 6 process modules

3、优异的温度,颗粒控制能力

Excellent temperature control and particle control

4、配置灵活、大产能、低运营成本

Flexible configuration, higher throughput and lower CoO/CoC


技术参数

1、晶圆尺寸 6、8 英寸

2、适用材料 银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝等

3、适用工艺 倒装工艺、金属电极等

4、适用领域 科研、化合物半导体、新兴应用、集成电路



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