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原子力显微镜AFM

简要描述:原子力显微镜AFM技术参数:
1. XY方向扫描范围:90μm x 90μm(典型值),85μm (最小值)
2. Z 方向扫描范围:10μm (典型值),9.5μm (最小值)
3. 纵向噪音水平:30pm RMS值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达625Hz)
4. XY 方向闭环噪音水平:≤0.15nm RMS 值(典型的成像带宽条件最高可达 625Hz)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-06-09
  • 访  问  量: 413

详细介绍

一、原子力显微镜AFM 技术参数:

1. XY方向扫描范围:90μm x 90μm(典型值),85μm (最小值)

2. Z 方向扫描范围:10μm (典型值),9.5μm (最小值)

3. 纵向噪音水平:30pm RMS值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达625Hz)

4. XY 方向闭环噪音水平:≤0.15nm RMS 值(典型的成像带宽条件最高可达 625Hz)

5. Z方向闭环噪音水平:35pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达 625Hz);50pm RMS 值,力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz)

6. XYZ方向的非线性参数:<0.5%

7. 样品尺寸和固定方式:210mm直径,真空吸附,≤15mm 厚

8. 马达驱动样品台(X-Y 轴):180mmx150mm 可观测区域;单向2um重复性;双向 3m 重复性。

9.光学系统:5百万像素数字摄像头;180um 至1465um可视区域;数字化缩放,马达驱动聚焦。

二、原子力显微镜AFM 企业简介:

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。


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